TR-6650의 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착 공진 공동에는 내부 전극이 없으므로 전극 방전으로 인한 오염을 피할 수 있습니다. 작동 압력 범위가 비교적 넓고 생성된 플라즈마는 밀도가 높고 면적이 넓으며 안정성이 높으며 진공 벽과 접촉하여 벽에 의한 필름 오염을 방지합니다.
- 냉각방식 : 수냉식 구조- 샘플 데스크 : 기판 직경 Φ 80 mm- 기판 온도 측정 : 적외선 온도 범위 300 ~ 1400 ℃ + 지능형 AI 온도 측정 (이중 온도 측정)- 높이 조정 : 샘플 테이블의 성장 높이를 ± 15mm 조정 가능- 확장성 :성장 플랫폼 확장 가능